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INFICON公司介紹：

INFICON總部位于瑞士巴特拉格斯，品牌溯源可至1964年，集團正式整合成立于2000年6月，成立至今已推出超100款創新產品，是精密分析、測量與控制儀器供應商。

INFICON集團核心產品線覆蓋精密儀器儀表、關鍵傳感器技術、工業4.0制程控制軟件三大方向，代表產品包括氦氣檢漏儀、Proteus LIMS系統、XTC900鍍膜控制設備、高精度真空計、有毒化工原料分析儀等。

INFICON產品覆蓋多個高要求行業：空調制冷、汽車制造領域的氣體泄漏檢測、半導體、平板顯示器、太陽能電池、光學器件的真空鍍膜制程管控、泛真空技術延伸至生命科學、航空航天、食品包裝、熱處理、激光切割等領域、應急安保、環境監測場景下的有毒有害化工物質快速分析。進口INFICON真空計BCG450B-A檢漏儀Modul100

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INFICON產品類型：

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殘余氣體分析儀系列

Transpector XPR 3+殘余氣體分析儀，質量位置穩定性在24小時內小于0.1amu，法拉第杯模式下靈敏度可達24E-7amps/Torr，最小可檢測分壓在法拉第杯模式下為1E-9Torr，電子倍增器模式下可低至6E-12Torr，兩種模式下的最大工作壓力均為20mTorr，線性操作區間的最大工作壓力為10mTorr。設備支持全譜段氣體成分實時分析，適配半導體真空鍍膜、科研實驗室的痕量氣體檢測場景，整機防護等級達到IP40，可在工業車間的常規電磁干擾環境下穩定運行，連續工作時長可達50000小時以上。

Transpector MXP殘余氣體分析儀，質量數覆蓋范圍為1amu至200amu，掃描速度最高可達1000amu/s，電子倍增器增益調節范圍為10^3至10^7，基線噪聲水平低于0.01cps，支持多通道同步數據采集與存儲，內置100余種常見工業氣體的特征譜庫，可自動完成氣體成分識別與濃度換算。設備適配高潔凈度的半導體晶圓制造產線，可實時監測真空腔體內的雜質氣體含量，幫助產線將鍍膜良率提升3%至5%，整機支持標準工業通信協議，可直接接入工廠的MES系統完成數據上傳。

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真空測量儀器系列

BPG400 DN25KF 354-490真空計，測量范圍覆蓋5×10^-10 mbar至大氣壓，在10^-8至10^-2 mbar的壓力區間內測量重復性可達±5%，采用DN25 ISO-KF法蘭連接，可選配RS485、RS232、EtherCAT數字通信接口。設備融合了貝阿德-阿爾珀特真空計與皮拉尼真空計的雙重功能，內置長壽命氧化釔銥絲，搭載皮拉尼聯鎖保護機制，符合ROHS環保規范，整機體積緊湊，安裝占用空間僅為傳統分體式真空計的60%，可廣泛適配從低真空到超高真空的各類工業真空場景。

CDG025D電容薄膜真空計，測量量程分為0.1mbar、1mbar、10mbar、100mbar、1000mbar五個檔位，全量程內測量精度優于±0.2%FS，溫度漂移系數低于0.01%FS/℃，工作環境溫度覆蓋-10℃至60℃，采用全金屬密封結構，可耐受150℃的原位烘烤工藝。設備不受氣體種類影響，對腐蝕性特殊氣體也能保持穩定測量精度，適配光伏電池制造、特種材料熱處理等對真空測量穩定性要求場景，平均工作時長超過80000小時。

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氦氣檢漏儀系列

HLD MD3000氦氣檢漏儀，最小可檢測泄漏率低至1×10^-12 mbar·L/s，最大測試壓力可達1MPa，響應時間小于1秒，內置自動校準功能，支持本地觸控操作與遠程上位機控制，整機移動輪設計適配車間內多工位流轉使用。設備搭載智能檢漏算法，可自動排除環境背景氦氣的干擾，將誤報率降低至0.1%以下，適配汽車零部件、制冷壓縮機等工件的批量檢漏場景，單小時可完成超過120件工件的檢漏測試，大幅提升產線質檢效率。進口INFICON真空計BCG450B-A檢漏儀Modul100

XL3000flex氦氣檢漏儀，支持真空模式與吸槍模式雙工況切換，真空模式下最小檢漏率為5×10^-13 mbar·L/s，吸槍模式下最小檢漏率為1×10^-7 mbar·L/s，內置大容量氦氣存儲罐，單次充氦可連續工作超過8小時，設備配備可視化操作界面，可實時顯示泄漏位置與泄漏率數值，適配新能源汽車動力電池、氫能源閥門等高壓部件的檢漏需求，整機防護等級達到IP54，可在復雜的工業車間環境下長期穩定運行。

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制冷劑檢漏儀系列

TEK-Mate制冷劑檢漏儀，可檢測所有常見CFC、HCFC、HFC、HFO類制冷劑，最小檢測靈敏度可達3g/年，電池續航時間連續工作超過10小時，預熱時間僅需2秒，內置傳感器故障自診斷功能，傳感器壽命可達300小時以上。設備機身重量僅為0.5kg，搭配柔性探桿可深入空調機組的狹小縫隙中完成檢漏，適配暖通空調售后維修、制冷設備生產線質檢等場景，操作門檻極低，普通運維人員經過10分鐘培訓即可熟練使用，是制冷行業應用便攜檢漏設備之一。

D-TEK 3制冷劑檢漏儀，支持CO?等新型環保制冷劑的高精度檢測，最小檢測靈敏度可達1g/年，響應時間小于0.5秒，內置三色LED泄漏強度指示燈，搭配蜂鳴器隨泄漏量同步調整提示頻率，設備搭載可更換式傳感器模塊，無需返廠即可完成傳感器更換維護，整機符合*主流地區的防爆安全標準，適配商用制冷系統、冷鏈物流設備的精密檢漏場景，可幫助運維人員快速定位微小泄漏點，減少制冷劑損耗超過30%。

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電池電解液檢漏儀系列

LDS3000電解液檢漏儀，可檢測鋰離子電池內部的微量電解液泄漏，最小可檢測泄漏率低至1×10^-9 mbar·L/s，測試節拍小于3秒，支持多工位并行檢測，內置自動上下料對接接口，可直接集成到鋰電池自動化產線中。設備采用非接觸式檢測方案，不會對電池外殼造成任何損傷，檢測過程無污染無殘留，適配方形鋰電池、軟包鋰電池等各類動力電池的密封性能檢測，檢測準確率可達99.95%，大幅降低動力電池的后期漏液故障風險。

HLD BR200電池專用檢漏儀，采用氦氣背壓法檢測工藝，可對密封后的電池完成全檢，最大可適配直徑100mm、高度200mm的各類電池工件，檢測壓力調節范圍為0.1MPa至0.8MPa，設備內置泄漏數據統計系統，可自動生成質檢報表并上傳至產線數據庫，適配消費類鋰電池、儲能電池的批量生產質檢場景，設備的維護周期長達12個月，大幅降低產線的運維成本。

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鍍膜控制設備系列

XTC900鍍膜厚度控制器，厚度控制分辨率可達0.1?，沉積速率控制精度優于±0.5%，支持最多8層不同鍍膜材料的程序編輯，內置100余種常見鍍膜材料的參數庫，可實時顯示鍍膜厚度、沉積速率、剩余鍍膜時間等關鍵參數。設備適配光學鏡片、半導體晶圓的真空鍍膜工藝，可將鍍膜厚度的一致性提升至±1%以內，大幅提升光學器件的生產良率，整機支持工業以太網通信，可直接接入真空鍍膜機的控制系統完成閉環控制。

SQC310鍍膜控制器，最多支持3個獨立石英晶振傳感器切換工作，傳感器使用壽命延長3倍以上，厚度測量范圍覆蓋1?至9999μm，適配金屬膜、介質膜、化合物膜等各類鍍膜場景，設備機身采用緊湊型設計，可直接安裝在鍍膜機的控制柜內部，適配中小型鍍膜設備的升級改造需求，操作界面簡潔直觀，工藝人員可快速完成鍍膜程序的編寫與調試。

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MEMS皮拉尼真空計系列

PPG550皮拉尼真空計，基于優良MEMS微機電傳感器技術，測量范圍覆蓋1×10^-6 mbar至1333 mbar，全量程內測量重復性優于±8%，支持8-pin工業接口輸出，適配物理氣相沉積、質譜儀前端壓力監測、真空腔體氣體回填等場景。設備無傳統皮拉尼傳感器的熱絲損耗問題，抗污染能力大幅提升，可在含微量工藝粉塵的工業真空環境下長期穩定工作，整機防護等級IP40，適配各類工業真空設備的集成安裝需求，平均工作時長可達60000小時以上。

PPG570高精度MEMS真空計，測量范圍擴展至5×10^-7 mbar至2000 mbar，在10^-3 mbar至1000 mbar區間內測量精度優于±3%，搭載EtherCAT實時工業通信接口，數據刷新頻率可達1kHz，支持多設備同步組網測量。設備內置溫度自動補償模塊，在-20℃至70℃的寬溫環境下漂移量低于0.02%FS/℃，適配半導體優良制程、特種材料真空燒結等對壓力測量響應速度要求場景，可直接接入產線的實時控制系統完成閉環調節。進口INFICON真空計BCG450B-A檢漏儀Modul100

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雙技術真空計系列

BPG552熱電離真空計，融合Bayard-Alpert熱電離傳感器與經典皮拉尼傳感器，測量范圍覆蓋5×10^-10 mbar至1000 mbar，雙燈絲設計大幅延長傳感器使用壽命，測量重復性在全量程內優于±6%。設備支持模擬量輸出、RS232C串行接口與EtherCAT通信，可與INFICON VGC50x系列控制器直接配套使用，向后兼容前代BPG402型號，符合ROHS環保規范，適配半導體工藝壓力監測、工業鍍膜產線全區間真空測量等場景，支持付費延長保修期服務。

BPG562超高真空雙技術真空計，測量下限延伸至2×10^-11 mbar，熱電離傳感器的靈敏度提升40%，內置自動除氣功能，可在不拆機的情況下完成傳感器腔體清潔，避免工藝殘留雜質影響測量精度。設備支持150℃原位烘烤，適配超高真空科研實驗、航天部件真空模擬測試等場景，整機采用全金屬密封法蘭連接，漏率低于1×10^-11 mbar·L/s，杜絕外部氣體滲入影響真空環境。

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便攜式氣體分析儀系列

Hapsite ER便攜式氣質聯用儀，質量數覆蓋范圍為1amu至500amu，檢測限可達ppb級別，單次樣品分析周期小于3分鐘，內置可充電鋰電池，連續戶外工作時長超過8小時。設備搭載內置氣相色譜分離模塊，可在復雜混合氣體環境下精準識別上百種有毒有害化工物質，適配應急安保現場檢測、環境空氣污染物溯源等場景，整機配備便攜防護箱，可承受戶外復雜路況下的顛簸沖擊。

MicroGC Fusion微型氣相色譜儀，搭載4路獨立分析通道，每通道分析周期小于1分鐘，總重量僅2.8kg，內置氫氣發生器無需外接載氣氣源。設備可同時完成多組分氣體的并行快速分析，適配石油化工現場氣體組分檢測、半導體特氣純度校驗等場景，分析結果的相對偏差小于2%，支持藍牙無線數據傳輸，可直接將檢測結果同步至移動終端完成數據歸檔。

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模塊化真空控制器系列

VGC501單通道真空控制器，最多可接入1臺真空計設備，支持3.5英寸觸控顯示屏實時顯示壓力數值，內置10組自定義壓力閾值繼電器輸出，可直接聯動真空系統的泵組、閥門完成自動啟停控制。設備支持多語言操作界面，適配不同地區的產線操作人員使用，適配中小型真空爐、實驗室真空設備的自動化控制場景，安裝方式支持標準DIN導軌安裝，占用控制柜空間僅為傳統控制器的50%。

VGC503三通道真空控制器，最多可同時接入3臺不同類型的真空計，支持多區間壓力聯動邏輯編程，內置數據存儲模塊可自動保存長達1年的壓力歷史數據。設備支持EtherNet/IP工業協議，可直接接入工廠MES系統完成數據上傳與遠程監控，適配大型半導體鍍膜產線、多腔體真空系統的集中管控場景，大幅降低產線人工巡檢的工作量。

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Transpector APX 多壓力

實時較小化廢品并較大化產量

INFICON Transpector APX 仍然是半導體和顯示器工藝監控領域市場殘余氣體分析儀 (RGA)。INFICON 了解半導體和顯示器客戶有獨特的需求，較新版本的 Transpector APX 可提供更大的靈活性以滿足特定應用要求，同時保持行業測量速度和靈敏度。Transpector APX 是 ALD、CVD、PVD 和蝕刻等半導體工藝的理想 RGA 工藝監控器。

下一代 Transpector APX 多壓力進樣口系統專為適應容易產生顆粒或涂層的工藝化學而設計，如 ALD 或 PECVD。這允許持續監控以捕獲所有關鍵工藝步驟的數據點。此外，HexBlock 進樣口配有 INFICON 專有涂層，可抵抗腐蝕性氣體，這對于腔室清潔端點監控應用至關重要。

優點

特定應用平臺設計可延長 ALD 或 CVD 工藝的使用壽命，從而實現較佳的晶圓和面板保護以及工藝優化

ALD 測量速度超過每秒 550 個數據點

由于采用高性能泵送系統，工廠占地面積減少了 30%，并且安裝更加容易

可配置 HexBlock™，采用 INFICON 專有涂層，較多可配備三個壓力入口，可耐受嚴酷的腐蝕性化學物質

自動校準可確保傳感器與傳感器之間以及工具與工具室匹配的長期數據可靠性和準確性

Transpector APX 與 FabGuard ®軟件集成并得到 INFICON 首級應用專家的支持后，將成為過程監控和診斷工具

耗材

969-800-G1S：APX CIS 鎢絲套件 金色

969-800-G2S：APX CIS 涂層燈絲套件 GOLD

969-801-G1S：APX CIS 鎢離子源套件 GOLD

969-801-G2S：APX CIS 鎢離子源套件（帶陽極襯里）GOLD

969-801-G3S：APX CIS 涂層離子源套件 GOLD

969-801-G4S：APX CIS 涂層離子源套件（帶陽極襯里）GOLD

961-707-G1：電子倍增器更換套件

923-418-G2：兩級泵更換隔膜套件

進口INFICON真空計BCG450B-A檢漏儀Modul100

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泄漏檢測器

LDS3000

緊湊設計，實現較高性能

較高的精度和可重復性以及較短的循環時間使 LDS3000 成為真空泄漏檢測系統的選擇。它擁有緊湊性，確保無縫集成，安裝工作量和空間要求較小。使用各種現代現場總線系統增強您的設置，進一步優化您的操作。LDS3000也可用作LDS3000 AQ ，用于累積系統。LDS3000 產品系列是自動化測試系統較通用的解決方案。

INFICON 還為幾乎所有應用提供各種校準測試泄漏。為了簡化和加快訂購流程，請使用 訂購表為測試系統定制校準泄漏。

EcoBoost 功能：更快、更高效、更低成本

獨特的 EcoBoost 功能使 LDS3000 能夠檢測出較小的泄漏，即使在高且不斷降低的示蹤氣體背景水平下也是如此。由于出色的儀器質量可實現極其精確、可重復和線性的測量，智能算法可以高精度地預測示蹤氣體背景的降低。

借助 EcoBoost，LDS3000 可以在測試周期的早期檢測到泄漏，并且不會錯過小泄漏。EcoBoost 還可以使用更小、更節能的泵并減少氦氣消耗。

特征

緊湊的設計允許個性化、定制地集成到泄漏檢測系統中

通過多種模擬和數字接口實現通信多樣性

顯著改善布線

新的程序可以在 20 秒內校準 LDS3000 泄漏檢測器。

優點

緊湊設計，可快速輕松集成

可靠性能

市場上較高的精度和重復性

周期時間方面的市場：在不到 1 秒的時間內快速檢測高達 1 x 10 -11 mbar l/s 的泄漏率

PROFIBUS 接口可簡化連接和互操作性、遠程訪問并提高數據傳輸效率。

數字接口，包括RS232、RS485、USB

多種模擬接口

停機時間較短，維護要求減少

校準時間快，通常約為 20 秒

可選觸摸屏顯示

典型應用

蒸發器、冷凝器、壓縮機

電池外殼

電池組托盤和蓋子

安全氣囊氣體發生器和點火器

閥門

剎車管路、燃油管路

液壓元件

內燃機

規格

氦氣“ULTRA"模式的較小可檢測泄漏率: <1E-11 毫巴·升/秒

氦氣“FINE"模式的較小可檢測泄漏率: <5E-11 毫巴·升/秒

氦氣“GROSS"模式的較小可檢測泄漏率: <1E-9 毫巴·升/秒

氦氣“嗅探器"模式的較小可檢測泄漏率: <1E-7 毫巴·升/秒

測量單位: 毫巴·升/秒、帕斯卡·米3/秒、大氣壓厘米3、克/年、ppm

較大入口壓力“ULTRA"模式: 0.2 毫巴

較大入口壓力“FINE"模式: 0.9 毫巴

較大入口壓力“GROSS"模式: 18 毫巴

響應時間: <1 秒

數字輸入/輸出（如果與 IO1000 模塊一起使用）: 10 個輸入/8 個輸出

控制輸入: 五個，較大 35 (PLC 兼容)

離子源: 2 個釔/銥長壽命陰極（3 年保修）

線性/對數記錄器輸出: 五個，0-10

串行接口（帶 IO1000/BM1000）: RS232、RS485、現場總線

尺寸（長 x 寬 x 高）: 330 x 240 x 280 毫米 (13 x 9.45 x 11.1 英寸)

環境溫度范圍: 10 - 45 ℃ (50 - 113 ℉)

真空連接: DN 16 卡箍, DN 25 卡箍

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制冷劑回收機

VortexDual

新款 VortexDual 將之前 Vortex 儀器經過驗證的功能與新的擴展功能相結合，為您提供迄今為止速度較快、體積較小且較易于使用的制冷劑回收機。

VortexDual 與眾不同之處在于，它提供一臺完整的 1 HP 雙活塞壓縮機，可在實際使用條件下實現較快的恢復速度。獨特的微通道冷凝器與超大風扇相結合，有助于降低排氣壓力，從而在較熱的環境溫度下保持持續的速度。

特征

1 HP 雙活塞壓縮機，實現行業回收率

微通道冷凝器提供出色的熱交換，使 Vortex Dual 能夠在整個回收周期內保持回收率

超大風扇提供優秀的冷卻效果

簡單的雙閥操作

用于吸入壓力和罐壓的全尺寸保護儀表

無需更換軟管即可自行清除

包括過濾器/干燥器

吸音吹塑外殼

三年柜臺更換保修

規格

單位包括：肩帶、過濾器/干燥器、6 英尺（1.8 米）可拆卸電源線

兼容制冷劑：回收常用的 CFC、HCFC 和 HFC，包括 R410A、R12、R22、R134a、R32、R404、R407C、R500、R502 和其他 III、IV 和 V 類制冷劑混合物

重量：29.75 磅（13.5 千克）

尺寸（長 x 寬 x 高）：16.7 x 9.2 x 14.2 英寸（42.4 x 23.3 x 36 厘米）

壓縮機：1 HP 無油、雙閥、交流電機驅動

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射頻傳感技術

Sion 電弧檢測器

減少晶圓損失、提高產量并增加正常運行時間

等離子處理過程中的電弧會導致靶材和腔體損壞，進而導致基材損壞和顆粒產生。隨著特征尺寸減小，微電子設備越來越容易受到電弧引起的損壞。電弧可能發生在任何等離子輔助工藝中，例如電離物理氣相沉積 (iPVD)、等離子增強化學氣相沉積 (PECVD) 和蝕刻。INFICON Sion 電弧檢測器提供了至關重要的首道防線。Sion 可以快速檢測微弧并在發生嚴重損壞或廢料之前對其做出反應。該系統可實時檢測和分析等離子微弧事件。

Sion™ RF 探測器還可通過可靠、準確地確定腔室清潔終點，讓您在化學氣相沉積 (CVD) 和蝕刻工藝中實現更嚴格的控制和更高的產量。更準確的終點意味著更低的晶圓上顆粒水平和更長的預防性維護周期間隔時間。

Sion 與基于光學發射光譜儀 (OES) 的控制器相比具有許多優勢，它與 FabGuard集成和分析系統配合使用，可提高產量并減少由于腔室清潔蝕刻不足或過度而造成的時間和材料浪費。

特征

輕松改裝現有工具組

非侵入式傳感器安裝

高速數據采集（250 kHz）

與 FabGuard 集成的數據管理

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真空計和控制器

TPG36x

作為用于過程測量、控制和數據記錄的多功能控制器，TPG361 和 TPG362 有源壓力表控制器旨在與各種有源緊湊型壓力表無縫配合使用。它們可高效管理和記錄從 10 -10到1500 mbar（10 -10到 1125 Torr）的廣泛壓力范圍內的數據。

優點

易于使用的點陣菜單界面，用于調整參數、傳感器或常規設置

清晰可見的明亮顯示屏，可遠程讀取設備數據

條形圖用于可視化設定點或顯示隨時間變化的壓力

通過 USB 存儲設備（正面）實現數據記錄和參數備份功能

固件更新可在線或通過 USB 進行

每個通道有兩個可自由定義的設定點，具有可調滯后

使用 16 位 A/D 轉換器進行高精度數據評估

自動識別 INFICON 有源緊湊型壓力表

以太網、RS485 和 USB 接口

規格

類型：TPG361

測量通道：1

展示：液晶顯示、LED背光

速率1/秒：10

可連接儀表及顯示范圍

CMR (A/D)托：1×10 -3 ×滿量程…1×滿量程

PCR毫巴/托：5×10 -5 … 1500 / 3.75×10 -5 … 1125

TPR毫巴/托：1×10 -4 … 1000 / 7.5×10 -5 … 750

PKR毫巴 / 托：1×10 -9 … 1000 / 7.5×10 -10 … 750

IKR毫巴 / 托： 1×10 -9 … 1×10 -2 / 7.5×10 -10 … 7.5×10 -3

APR毫巴/托：0.1 … 55000 / 7.5×10 -2 … 4.125×10 4

PBR毫巴/托：5×10 -10 … 1000 / 3.75×10 -10 … 750

IMR毫巴/托：2×10 -6 … 1000 / 1.5×10 -6 … 750

測量單位（可選）：毫巴、托、帕、百帕、微米、伏特

設定點

設定點繼電器：2

通道分配：1

調整范圍：傳感器相關

滯后：可調節的

繼電器觸點：浮動轉換觸點

觸點額定值V (ac) / A：30 / 1

觸點額定值V（直流）/ A：60 / 0.5

連接器：D-sub，15 針，母頭

模擬輸出

范圍Ⅴ：0…10.3，傳感器模擬輸出信號

模擬輸出：1

連接器：Amphenol C91B，7 針，母頭

接口（數字）：USB 從屬設備、主設備、以太網和 RS485

連接器：USB A 型（棒）、USB B 型、FCC68/RJ45、Binder M12

力量

電源電壓（交流）：100 ... 240

頻率Hz：50 ... 60

消耗量：≤45

工作溫度（環境溫度） °C：+5 ... +50

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真空元件

帶翼形螺母的夾緊環

INFICON ISO-KF 接頭根據 ISO 2861/1、DIN 28403 和 Pneurop 6606 制造。INFICON的優質接頭是所有真空和高真空應用的標準組件。高品質 INFICON 組件經過設計和測試，泄漏率低于 1 x 10 -9 mbar l/s。

優點

價格有競爭力

設計和測量嚴格遵循標準

*物流

符合 2011/65/EU RoHS 標準

規格

尺寸 A：45 毫米

尺寸 B：61 毫米

尺寸 C：16 毫米

夾緊環一半：鋁 380.0

螺栓：鋼鍍鎳

堅果：鋅合金鍍鎳

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INFICON產品型號：

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電容薄膜真空計系列

CDG025D、CDG045D、CDG100D D1-751-2300、CDG100D D1-751-230B、CDG100D D1-753-2300、CDG100D D1-75E-2300、CDG100D D1-85E-230B、CDG100D D1-85H-230B、CDG100D D1-951-2300、CDG100D D1-951-230B、CDG016D、CDG030D、CDG100D 1Torr、CDG100D 10Torr、CDG100D 100Torr、CDG100D 1000Torr、CDG020D、CDG050D、CDG075D、CDG100D 760Torr

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皮拉尼真空計系列

PPG550、PPG570、PCG550、PGE050、PGE050 DN16、PGE050 DN25、PEG100、PEG100 DN40、PSG500、PSG502、TPR280、TPR281、TPR300、TPR301、D1-751-2300、PTR90、PTR91、PPG400、PPG401、VSA200

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氦氣檢漏儀系列

HLD MD3000、XL3000flex、HLD BR200、LDS3000、HLD6000、HLD6000+、HLD1000+、HLD2000、HLD3000、HLD4000、HLD5000、HLD Compact、HLD Pro、HLD Ultra、HLD Eco、HLD Max、HLD Mini、HLD Smart、HLD Advanced、HLD Industrial

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制冷劑檢漏儀系列

TEK-Mate、D-TEK 3、D-TEK Select、D-TEK Stratus、Compass、Compass 2、Ref-Check、Ref-Scope、Gas-Mate、Gas-Check、TEK-Pulse、TEK-Sensor、D-TEK Lite、D-TEK Pro、Refrigerant Leak Detector 718-202-G1、718-207-G1、718-601-G1、718-607-G1、TEK-Mate 705-202-G1、TEK-Mate 705-207-G1

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殘余氣體分析儀系列

Transpector XPR 3+、Transpector MXP、Transpector CPM、Transpector SPS、Transpector 2、Transpector 3、Transpector 4、RGA 100、RGA 200、RGA 300、RGA 400、RGA 500、HPR20、HPR30、HPR40、HPR50、HPR60、HPR70、HPR80、HPR90

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鍍膜控制設備系列

XTC900、SQC310、SQC310M、SQC770、SQC780、XTC/3、XTC/2、IC/5、IC/6、IC/7、Thin Film Controller 757-202、Thin Film Controller 757-207、Deposition Controller 758-202、Deposition Controller 758-207、XTC900-S、XTC900-L、SQC310-E、SQC310-P、SQC770-A、SQC770-B

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氦吸槍檢漏儀系列

Protec P3000、Protec P3000XL、Ecotec E3000、HLD Pro XL、HLD Smart XL、HLD Industrial XL、HLD Eco XL、HLD Max XL、HLD Mini XL、HLD Compact XL、HLD Advanced XL、HLD Ultra XL、HLD 6000 XL、HLD 5000 XL、HLD 4000 XL、HLD 3000 XL、HLD 2000 XL、HLD 1000+ XL、HLD MD3000 XL、HLD BR200 XL

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/冷媒檢漏儀系列

GAS-Mate、Compass、Compass 2、D-TEK Stratus、D-TEK Select、TEK-Pulse、TEK-Sensor、Gas-Check、Gas-Scope、Ref-Check、Ref-Scope、705-202-G1、705-207-G1、718-202-G1、718-207-G1、718-601-G1、718-607-G1、D-TEK Lite、D-TEK Pro、TEK-Mate Pro

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寬量程/復合真空計系列

Gemini、PCG550 3PC1-001-0000、PCG550 3PC1-001-0001、PSG55x、PSG50x、PSG550、PSG552、PCG552、BPG551、BPG553、BPG561、BPG563、PCG551、PCG553、PSG501、PSG502、PSG503、VSA200、VSA201、VSA202

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氣體分析與質譜系列

Hapsite ER、MicroGC Fusion、MicroGC 3000、MicroGC 4000、3000 Micro GC、4000 Micro GC、HPR20 QMS、HPR30 QMS、HPR40 QMS、HPR50 QMS、HPR60 QMS、HPR70 QMS、HPR80 QMS、HPR90 QMS、Transpector CPM、Transpector SPS、Transpector 2、Transpector 3、Transpector 4、RGA 100

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鍍膜控制與配件系列

IC/5、IC/6、IC/7、XTC/3、XTC/2、SQC770-A、SQC770-B、SQC780-A、SQC780-B、XTC900-S、XTC900-L、SQC310-E、SQC310-P、RQCM 石英晶體微天平、FDC 故障檢測軟件、真空饋入裝置 VF100、真空饋入裝置 VF200、鋁質冷媒加注表組 2路、鋁質冷媒加注表組 4路、VGC501、VGC503